LABORATORIJ ZA ANALIZO POVRŠIN IN TANKIH PLASTI (LAPTP)
Vodja centra
Doc. dr. Janez Kovač, janez.kovac@ijs.si
Ttelefon: (01) 477 34 03
Odsek za tehnologijo površin in optoelektroniko – F4
V Laboratoriju za analizo površin in tankih plasti izvajamo karakterizacijo površin različnih materialov, tankih plasti, večplastnih struktur in drugih materialov. Pri tem določimo sestavo površine ali tanke plasti, vrsto kemičnih vezi elementov, oksidacijska stanja elementov, kemično strukturo in elektronske lastnosti.
V laboratoriju imamo naslednje analizne metode in raziskovalno opremo:
Rentgenska fotoelektronska spektroskopija (ang. X-ray photoelectron spectroscopy – XPS ali ESCA), Instrument: XPS spektrometer PHI TFA XPS, Al-monokromatizirani izvor, Al- in Mg-standardni izvori, Proizvajalec Physical Electronics (ZDA). S to metodo lahko analiziramo sestavo površin, kemične vezi in oksidacijska stanja elementov na površinah in tankih plasteh.
Spektroskopija Augerjevih elektronov (Auger Electron Spectroscopy - AES), Instrument: PHI SAM 545A, Proizvajalec Physical Electronics (ZDA). S to metodo v kombinaciji z ionskim jedkanjem (ion sputtering) analiziramo globinsko porazdelitev elementov v tankih plasteh do debeline 1 mikrometer.
Masna spektroskopija sekundarnih ionov (Secondary Ion Mass Spectroscopy – ToF SIMS), Instrument TOF SIMS 5, proizvajalec: ION TOF (Nemčija). S to metodo lahko določamo kemično/molekularno strukturo površine. Lahko izdelamo slike kemične sestave. Detektiramo vse elemente, molekule in fragmente molekul. Ta metoda je posebej primerna za analizo organskih materialov.
Mikroskopija na atomsko silo – AFM, Instrument: Solver Pro 45, Proizvajalec NT-MDT. S to metodo lahko analiziramo topografijo/morfologijo površin na atomskem nivoju in izračunamo hrapavost površine.
Globinska analiza sestave in debeline tankih plasti. Z metodama XPS in AES v kombinaciji z ionskim jedkanjem (ion sputtering) izvajamo precizno analizo tankih plasti. S tem lahko opišemo reakcije na faznih mejah (difuzija, segregacija) in izmerimo debelino oksidnih plasti, ugotovimo vrsto kontaminacije... Naš laboratorij je svetovno znan po visokoločljivi profilni analizi, ki jo je uvedel prof. Anton Zalar.
Analizne servisne usluge nudimo industrijskim partnerjem, inštitutom in univerzam. Z omenjenimi metodatmi lahko pojasnimo probleme kot so kontaminacija površine, poslabšana adhezija, spremenjena barva površine, slaba korozijska zaščita, …Za podrobnejše informacijte kontaktirajte doc. dr. Janeza Kovača.