Naprava meri profil površine. Iz linijskega profila z(x) lahko izračunamo parametre hrapavosti (Ra, Rt, Rz itd.), debelino prevleke (če del vzorca predhodno zastremo z masko) in notranje napetosti. Lahko izmerimo tudi 3D-topografijo površine z(x,y), kar omogoča npr. merjenje obrabnega volumna, štetje defektov itd.
tip: Form Talysurf Series 2
proizvajalec: Taylor-Hobson Ltd., Leicester, Velika Britanija
ločljivost: v x-smeri 0,25 μm, v y-smeri 1 μm, v z-smeri 3 nm
največji obseg merjenja: v x-smeri 50 mm, v y-smeri 100 mm, v z-smeri 1 mm, dopustni naklon: ±12°
Naprava meri adhezijo (oprijemljivost) prevleke na podlago po metodi razenja. Diamantna konica drsi po površini, pri čemer se obremenitev konice linearno povečuje. Naprava meri silo razenja in akustično emisijo, sled razenja pa naknadno pregledamo pod optičnim mikroskopom. Merilo za adhezijo so kritične sile, pri katerih se pojavijo vnaprej definirane poškodbe prevleke.
tip: Revetest® Scratch tester
proizvajalec: CSM Instruments, Neuchatel, Švica
maksimalna obtežitev: 200 N, merilna razdalja: 1 cm
Merilnik je last Centra odličnosti Nanocenter.
Naprava omogoča dve vrsti posnetka površine vzorcev:
(i) povsod ostra slika in
(ii) topografija površine. Iz topografije površine lahko izračunamo hrapavost, debelino prevleke, ovrednotimo obrabni volumen itd.
tip: Axio CSM 700
proizvajalec: Zeiss, Jena, Nemčija
povečave: 30x do 1500x
velikost slike: 100 μm do 5 mm
Gre za meritev tipa "pin on disk", kjer standardna konica drsi po površini vzorca. Drsenje je lahko krožno ali linearno, poteka lahko na zraku ali v kapljevini, v razponu od sobne temperature do 170 °C. Naprava beleži koeficient trenja, medtem ko iz preseka sledi konice lahko izračunamo obrabni volumen.
tip: Tribometer
proizvajalec: CSM Instruments, Neuchatel, Švica
maksimalna obtežitev: 10 N
Merilnik je last Centra odličnosti Nanocenter.
Z mikrotehtnico merimo maso plasti na površinsko enoto in posredno gostoto plasti. Z merjenjem prirastka mase vzorca pri pregrevanju v kisikovi atmosferi zasledujemo tudi kinetiko oksidacije.
tip: UMT 2
proizvajalec: Mettler Toledo, Greifensee, Švica
ločljivost: 0,1 μg, maksimalna obtežitev: 2 g
Vsem merilnikom trdote je skupno, da pri izbranih pogojih z diamantno konico naredijo vtis v preiskovani material. Iz dimenzije odtisa izračunamo trdoto materiala.
Namenjen zahtevnejši analizi mehanskih lastnosti tankih plasti.
tip: Fischerscope H100C
proizvajalec: Helmut Fischer, Sindelfingen-Maichingen, Nemčija
obseg obtežitve: 0,4 mN–1 N (40 mg–100 g)
Namenjen merjenju mikrotrdote tankih plasti.
tip: MVK-H2 Hardness tester
proizvajalec: Mitutoyo, Kawasaki, Japonska
obseg obtežitev: 10 mN–20 N (1 g–2 kg)
Namenjen merjenju trdote masivnih materialov.
tip: Rockwell 500RA
proizvajalec: Wolpert Wilson Instruments, Boston, ZDA
obseg obtežitve: 300–1500 N (30–150 kg)
