Nanos prevlek
V Odseku imamo pet naprav za nanos trdih PVD-prevlek,
od tega tri v Centru za trde prevleke in dve v prostorih Odseka v Ljubljani. Z njimi nanašamo tanke plasti, tako na testne vzorce v raziskovalne namene kot tudi na orodja za industrijske partnerje.
Deluje po principu magnetronskega naprševanja iz štirih izvirov pri enosmernem napajanju. Postopek je v celoti računalniško krmiljen z izpisom protokola za vsak nanos. V industrijskem obsegu nanašamo prevleko TiAlN, eksperimentalno pa CrAlN, aCN ter različne nitridne prevleke na osnovi Ti, TiAl in CrAl.
Deluje po principu magnetronskega naprševanja iz štirih izvirov in omogoča delovanje v treh režimih: enosmerni, klasični pulzni in pulzni pri visoki vršni moči (HiPIMS). Lahko nanašamo tudi neprevodne prevleke (npr. Al2O3) in nizkotemperaturne prevleke (CrN in TiN). V tej napravi izvajamo vse zahtevnejše testne nanose nanoplastnih in nanokompozitnih prevlek ter prevlek z gradientno sestavo. Postopek je v celoti računalniško krmiljen z izpisom protokola za vsak nanos. V industrijskem obsegu nanašamo prevleke AlTiN, TiAlSiN, CrN in aCN. Sicer pa lahko pripravimo poljubne nitridne prevleke na osnovi Ti, Al, Cr, V, TiAl, AlTi in TiSi.
Naparjevalnik Balzers BAI 730 proizvajalec: Oerlikon Balzers, Liechtenstein maksimalna dimenzija orodij: Ø160 mm x 200 mm
Naprava deluje po principu naparevanja iz lončka s pomočjo elektronskega curka. Omogoča ekonomičen nanos enostavnih nitridnih prevlek na orodja. V industrijskem obsegu nanašamo TiN in CrN.
Naprava je povsem predelana in ima vgrajen izvir za naprševanje (planarni magnetron) ter izvir za naparevanje (elektronski top). Uporabljamo jo zgolj za eksperimentalno delo.
Naprava deluje po principu triodnega naprševanja. Naprava je zelo fleksibilna in omogoča nanos različnih vrst prevlek, zato jo pretežno uporabljamo v raziskovalne namene, omogoča pa tudi nanašanje na manjša orodja. Nanašamo lahko nitride, karbide in okside različnih kovin, kakor tudi kovinske tanke plasti.