|
začetek 60-ih
Začetek raziskovanja tankih plasti v tedanjem Odseku za elektronsko mikroskopijo. Prve tanke plasti je leta 1962 pripravil prof. dr. Boris Navinšek v doma konstruirani in doma narejeni napravi. Delovala je po principu diodnega naprševanja.
|
 |
|
konec 60-ih
Merjenje razpršitvenih koeficientov. Leta 1967 je prof. Navinšek skonstruiral napravo za ionsko obstreljevanje, s katero je meril predvsem razpršitvene koeficiente kristalov alkalnih halogenidov. Ti rezultati so še danes referenca v vseh datotekah s tega področja. |
 |
|
1978 Nakup prve profesionalne naprave za naprševanje tankih plasti Balzers Sputron. Prvi vidnejši dosežek s to napravo je bil razvoj in izdelava standardov za profilne analitske tehnike, ki smo jih naredili za National Bureau of Standards (NBS) in podjetje Perkin-Elmer.
|
 |
|
1980 Konstrukcija in izgradnja nizkoenergijskega pospeševalnika za ione (30 keV). Z njim smo merili topografske spremembe in radiacijske poškodbe pri obstreljevanju materialov z ioni ter razpršitvene koeficiente v odvisnosti od parametrov snopa.
|
 |
|
1982 Začetek raziskav trdih prevlek. V eksperimentalni napravi Sputron smo nanesli prve TiN-prevleke, poleg testnih vzorcev tudi na rezalne ploščice iz karbidne trdine. Skonstruirali in doma izdelali smo še manjši naprševalnik, ki je omogočal nanos prevlek na orodja s komplicirano geometrijo (svedri, frezala, navojni vrezniki). Tako so bila že leta 1982 slovenski industriji na voljo prva doma narejena "zlata" orodja.
|
 |
|
1985 Ustanovitev Centra za trde prevleke v Domžalah in nakup profesionalne naprave za naparevanje. Prvi uspešni preizkusi "zlatih" orodij v industrijski proizvodnji, so omogočili realizacijo zelo ambicioznega projekta – postavitve Centra za trde prevleke, ki je bil slavnostno odprt 18. 12. 1985. Instalirali smo napravo za naparevanje Balzers BAI730 z vso potrebno periferijo in začeli nanašati prevleko TiN na orodja. Sledilo je večletno trdo delo pri uvajanju te tehnologije v slovensko in takratno jugoslovansko industrijo, med drugim tudi s številnimi obiski v industrijskih obratih in seminarji, ki smo jih izvedli za tehnologe iz industrije.
|
 |
|
1992 Do tega leta je bila TiN edina trda prevleka, na voljo za industrijo. Leta 1992 smo razvili prevleko CrN in jo ponudili industiji. Članki o razvoju in implementaciji CrN-prevleke so še danes med najbolj citiranimi članki sodelavcev odseka. Članek P. Panjan, B. Navinšek, I. Milošev: "Industrial applications of CrN (PVD) coatings, deposited at high and low temperatures", Surf. Coat. Technol. 97 (1997) 182 je bil citiran že 137-krat.
|
|
|
2002 Nakup naprševalnika CemeCon CC800/7 s štirimi magnetronskimi izviri. Omogoči nanašanje večkomponentnih prevlek (TiAlN), ki smo jih vpeljali v industrijo, kakor tudi večplastnih prevlek (npr. TiAlN/TiN). Slednje so bile osnova za simulacijo nanašanja prevlek v sistemu z večkratno rotacijo, ki smo jo nadgradili z računalniškim programom za napoved večplastne strukture.
|
 |
|
2008 Nakup naprševalnika CemeCon CC800/9 s štirimi magnetronskimi izviri in možnostjo pulznega napajanja. Omogoči nanašanje nanoplastnih, nanokompozitnih in nizkotemperaturnih prevlek. V industrijo postopoma vpeljemo patentirano modro nanoplastno prevleko AlTiN, samomazivno prevleko aCN in nanokompozitno prevleko TiAlSiN.
|
 |