TEHNOLOGIJA POVRŠIN — F4
- Atmosferske in nizkotlačne plinske razelektritve
- Sklopitev DC, nizko-frekvenčnih, radio-frekvenčnih in mikrovalovnih generatorjev s plinsko plazmo
- Plazemska karakterizacija z optičnim emisijskimi in absorpcijskimi tehnikami, masno spektroskopijo, električnimi in katalitičnimi sondami
- Plazemska nanoznanost in biomedicina
- Analize tankih plasti in površin z Augerjevo elektronsko spektroskopijo (AES), rentgensko fotoelektronsko spektroskopijo (XPS), vrstično Augerjevo spektroskopijo (SAM), sekundarno ionsko masno spektroskopijo (SIMS), vrstično elektronsko mikroskopijo (SEM), mikroskopom na atomsko silo (AFM)
- Raziskovanje rekacij na površinah
- Razvoj plazemskih tehnologij
- Raziskovanje poljske emisije nanostrukturiranih materialov
- Vakuumske tehnike, vauumska optoelektronika in oblikovanje vakuumskih sistemov
- Vakuumska toplotna izolacija
- Razvoj novih instrumentov za uporabo pri sinhrotronskih sevalnih virih
- Svetovanje na področju plazemskih tehnologij, tehnologij površin in tankih slojev, vakuumskih tehnologij in vakuumskih merjenj
Vodja odseka
prof. dr. Alenka Vesel, alenka.vesel@ijs.si
Telefon: (01) 477 35 02
Tajništvo
f4@ijs.si
Plazemski viri
Z nizko tlačnimi in atmosferskimi razelektritvami generiramo plazme z zaželenimi karakteristikami. V Odseku smo se specializirali v brez elektrodne radio frekvenčne in mikrovalovne razelektritve.
Karakterizacija plazme
Optične emisijske in absorpcijske tehnike, masna spektroskopija, električne in katalitične sonde uporabljamo za karakterizacijo razelektritvenega in po-razelektritvenega dela plazme. V Odseku smo razvili izvirno verzijo katalitične sonde za meritev prostorske porazdelitve nevtralnih radikalov.
Plazemske tehnologije
Plazemsko čiščenje (odstranjevanje organskih in anorganskih nečistoč z dvodimenzionalnih ali trodimenzionalnih površin objektov), selektivno plazemsko jedkanje kompozitnih materialov, aktivacije in pasivacije polimerov in polimernih kompozitov, plazemska bio medicina (kardiovaskularni implantati, povoji za rane, sterilizacija, diagnostične metode), plazemska nano znanost (kvantne pike, nano žičke, nano kompoziti, kompleksne nano strukture).
Površine, vmesne plasti in tanke plasti
Bazična in aplikativna znanost o površinah, karakterizacija površin s ToF SIMS, XPS, AES in AFM tehnikami, globinsko profiliranje, reakcije na površinah in vmesnih plasteh, mikroanalize, strukturne modifikacije in modifikacije sestave trdnih materialov po obdelavi z energetskimi ioni.
Vakuumska znanost in aplikacije
Metode za vzdrževanje različnih stopenj vakuuma, vakuumska metrologija, adsorpcija, desorpcija in permeacija plinov skozi trdno snov, vakuumska optoelektronika, razvijanje vakuumskih naprav in komponent: katodne cevi, izolacijski paneli in vakuumski elementi izdelani po naročilu.